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ENGINEERING CASE
工程案例
客戶背景

此項目客戶是山東一家半導(dǎo)體公司,實驗使用的干法刻蝕設(shè)備,涉及到的氣體有六氟化硫、氯氣、硅烷、氫氣、氦氣等8路氣體。為實驗人員提供穩(wěn)定、高純、安全的實驗環(huán)境

客戶需求
01
實驗室內(nèi)沒有比較合適的位置做氣瓶間
02
壓端用氣設(shè)備對壓力和流量希望能動態(tài)調(diào)節(jié)
03
氣體使用壓力有低壓高壓要求,使用的鋼瓶尺寸大小各異
04
能做到人機分離,尾氣排放這一塊要求能直接排放不產(chǎn)生環(huán)保問題
案例——半導(dǎo)體特氣系統(tǒng)
解決方案

(1)提供燃爆類移動氣房,智能化控制,可實現(xiàn)現(xiàn)場及遠(yuǎn)程報價,集中化控制

(2)提供毒腐燃爆類專用Hisptech 型專用全自動氣體控制柜,自動切換,帶有二次調(diào)壓、三級調(diào)壓,降低調(diào)壓閥兩側(cè)壓力差,保證使用壽命。配置專業(yè)開發(fā)的軟件,實現(xiàn)人機分離智能化操作

(3)提供Hisptech電熱分解式+高分子WET式Scrubber,采用超高溫夾套分解式與超高壓水分子吸附處理方式,處理效率≥99.999%

項目成果
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