化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)簡稱CDS，是一個為生產(chǎn)線實現(xiàn)24小時不間斷供應(yīng)高純度化學(xué)品的系統(tǒng)，一般應(yīng)用于使用量大、POU點位多或者危險性高的化學(xué)品。其目的是供應(yīng)高純度化學(xué)品用于芯片表面雜質(zhì)和微粒子的清洗，芯片圖形的刻蝕，芯片圖形的顯影、芯片的研磨等
半導(dǎo)體行業(yè)主要使用的化學(xué)品大致可以分為酸性（Acid）、堿性（Base）、有機（Solvent）、氧化劑（Oxider）及研磨液(Slurry)。工藝半導(dǎo)體制造在很大程度上是一種與化學(xué)有關(guān)的工藝過程，高達20%工藝步驟是清洗和晶圓表面的處理。
即槽車充填單元，將槽車原液Chemical輸送至儲罐儲存的供應(yīng)機臺
Storage Tank儲罐
材質(zhì):根據(jù)供應(yīng)化學(xué)品性質(zhì)的不同，儲罐常常也采用不同的材質(zhì)。
酸堿類化學(xué)品:罐體CS/SUS304,內(nèi)襯PTFE
有機溶劑類化學(xué)品:罐體SUS316L-BA/EP
腐蝕性溶劑化學(xué)品:罐體CS/SUS304,內(nèi)襯PTF
即化學(xué)品供應(yīng)單元，用于將200L Drum桶或Storage Tank內(nèi)的化學(xué)品通過內(nèi)部的Pump、Filter供應(yīng)至VMB。
根據(jù)供應(yīng)化學(xué)品性質(zhì)的不同，材質(zhì)分為:
酸堿類化學(xué)品:外殼PP,內(nèi)部閥件管路PFA
有機溶劑類化學(xué)品:外殼SUS,內(nèi)部管路閥件SUS
腐蝕性溶劑化學(xué)品:外殼SUS,內(nèi)部管路閥件PFA
VMB (valve manifold box)
閥門分流箱，用于主管道連接至VMB后，通過支路閥門分別連接至對應(yīng)POU。
材質(zhì):根據(jù)供應(yīng)化學(xué)品的性質(zhì)分為
酸堿類化學(xué)品:外殼PP,內(nèi)部閥件管路PFA
有機溶劑類化學(xué)品:外殼SUS,內(nèi)部管路閥件SUS
腐蝕性溶劑化學(xué)品:外殼SUS,內(nèi)部管路閥件PFA
T-BOX：用于供應(yīng)主管路需要連接至多個VMB，主管路上開支路時需要安裝T-BOX。
E-BOX：用于供應(yīng)主管路末端需要預(yù)留點時，在主管路末端安裝E-BOX。
材質(zhì):根據(jù)供應(yīng)化學(xué)品的性質(zhì)分為:
酸堿類化學(xué)品:外殼PP,內(nèi)部閥件管路PFA
有機溶劑類化學(xué)品:外殼SUS,內(nèi)部管路閥件SUS
腐蝕性溶劑化學(xué)品:外殼SUS,內(nèi)部管路閥件PFA
