（1）工藝氣體控制設(shè)備
A：硅烷等毒腐燃爆類供氣設(shè)備GC
毒腐燃爆類氣體使用Hisptech 型全自動(dòng)特氣柜,全自動(dòng)觸摸屏操作(帶外吹掃、抽真空，自動(dòng)緊急遠(yuǎn)程切斷、事故報(bào)警，高壓保壓鋼瓶接頭測(cè)漏，泄漏報(bào)警對(duì) 接，通風(fēng)出口等)
B：普氮等惰性類氣瓶控制架
Hisptech型雙瓶氣體全自動(dòng)切換氣體控制設(shè)備，帶壓力報(bào)警，帶泄漏報(bào)警對(duì)接，帶超壓保護(hù)，可遠(yuǎn)程控制，可遠(yuǎn)程切斷，遠(yuǎn)程 EMO 緊急關(guān)斷
C：終端氣體控制設(shè)備
Hisptech 型VMB（硅烷、氮?dú)猓┒M(jìn)四出，具有自動(dòng)緊急遠(yuǎn)程切斷、帶抽真空、外吹掃、泄漏報(bào)警對(duì)接，通風(fēng)出口等
（2）氣體管道輸送系統(tǒng)
管道需要按照整幢樓的現(xiàn)狀及潔凈室建設(shè)及裝修綜合 情況進(jìn)行安全布置，并按照對(duì)應(yīng)工藝設(shè)備實(shí)際需要安全科學(xué)分送到潔凈室內(nèi)指定設(shè)備處。管道的布置須 使用安全且必要的雙層套管（內(nèi)層管為潔凈拋光 EP 級(jí)管，中間真空，外層做 BA 級(jí)管）中間抽真空且進(jìn)行真空監(jiān)控，所有管材及管閥件須用國(guó)際知名品牌 EP 級(jí)材料
（3）GMS 氣體管理系統(tǒng)
氣體偵測(cè)報(bào)警。通過(guò)氣房及現(xiàn)場(chǎng)多個(gè)國(guó)際知名品牌泄漏偵測(cè)器多點(diǎn)偵測(cè)，每個(gè)偵測(cè)器分兩級(jí)報(bào)警，報(bào)警信號(hào)在當(dāng)?shù)嘏c BMS同時(shí)觸動(dòng)，當(dāng)泄漏量達(dá)到二級(jí)濃度時(shí)，觸動(dòng)當(dāng)?shù)嘏c BMS 的報(bào)警燈的同時(shí)，聯(lián)動(dòng)觸動(dòng)相應(yīng)的設(shè)備 Shutdown，停止相應(yīng)氣體供氣。并與潔凈室控制系統(tǒng)聯(lián)動(dòng)，打開(kāi)/關(guān)閉 相關(guān)門禁，輸出相應(yīng)廣播，進(jìn)行人員疏散
