解決方案
（1）工藝氣體控制設(shè)備
A：毒腐燃爆類供氣設(shè)備GC
毒腐燃爆類氣體使用Hisptech 型全自動特氣柜,全自動觸摸屏操作(帶外吹掃、抽真空，自動緊急遠程切斷、事故報警，高壓保壓鋼瓶接頭測漏，泄漏報警對 接，通風出口等)
B：終端氣體控制設(shè)備
Hisptech 型VMB，具有自動緊急遠程切斷、帶抽真空、外吹掃、泄漏報警對接，通風出口等
（2）氣體管道輸送系統(tǒng)
管道需要按照整幢樓的現(xiàn)狀及潔凈室建設(shè)及裝修綜合 情況進行安全布置，并按照對應工藝設(shè)備實際需要安全科學分送到潔凈室內(nèi)指定設(shè)備處。管道的布置須 使用安全且必要的雙層套管（內(nèi)層管為潔凈拋光 EP 級管，中間真空，外層做 BA 級管）中間抽真空且進行真空監(jiān)控，所有管材及管閥件須用國際知名品牌 EP 級材料
（3）尾氣處理系統(tǒng)
提供Hisptech電熱分解式+高分子WET式Scrubber，采用超高溫夾套分解式與超高壓水分子吸附處理方式，處理效率≥99.999%
