是指SiH4，NF3，Cl2 易燃易爆的氣體、有毒的氣體、有腐蝕性的氣體、純度特別高(超過99.999%)的一些具有高危險性，應(yīng)確保安全性的特氣儲存、輸送與分配過程的設(shè)備、管道和部件的總稱，特氣系統(tǒng)工程是用于實現(xiàn)特氣系統(tǒng)安全使用的工程。蓋斯帕克提供設(shè)計、選型、制造、安裝、測試、調(diào)試和系統(tǒng)托管服務(wù)等整體解決方案。
特氣管道系統(tǒng)由儲存、輸送、分配、控制四類設(shè)備組成。其中“存儲”指氣源部分(特氣柜GC)，“輸送”指配管部分(一般用雙套管)，“分配”指二次配部分(氣體分配柜VMB)，“控制”指監(jiān)督控制部分(氣體管理系統(tǒng)GMS)。
●半自動GC/GR ●全自動GC/GR
●全自動VMB ●大宗特氣系統(tǒng)(BSGS)
●高精度混氣系統(tǒng) ●TMA供應(yīng)系統(tǒng)
●TEOS供應(yīng)系統(tǒng) ●DEZ供應(yīng)系統(tǒng)
●TCS/DCS供應(yīng)系統(tǒng) ●非標(biāo)定制特氣系統(tǒng)
1.特氣系統(tǒng)中的每臺設(shè)備均配有PLC控制、彩色觸摸屏操作，帶有溫度、壓力、煙霧、泄漏監(jiān)控報警，并可擴(kuò)展地震監(jiān)控報警;單臺設(shè)備可以獨成系統(tǒng)獨立運轉(zhuǎn)，也可多臺設(shè)備用PLC或TGO連起來組成大系統(tǒng)，在監(jiān)控中心統(tǒng)一監(jiān)控管理，其報警系統(tǒng)還可以與安監(jiān)系統(tǒng)、消防系統(tǒng)對接?！ ?/p>
2.電子特種氣體是光電子、微電子等領(lǐng)域，特別是超大規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、非晶硅薄膜太陽能電池、半導(dǎo)體發(fā)光器件和半導(dǎo)體材料制造過程不可缺少的基礎(chǔ)性支撐源材料。它的純度和潔凈度直接影響到光電子、微電子元器件的質(zhì)量、集成度、特定技術(shù)指標(biāo)和成品率，并從根本上制約著電路和器件的精確性和準(zhǔn)確性。
芯片半導(dǎo)體、微電子企業(yè)、光伏太陽能、生物制藥、新材料等行業(yè)，常配套用于濺射真空鍍、沉積刻蝕、鈍化清洗等設(shè)備
