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首頁 / 產(chǎn)品 / 特氣柜（GC）

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大流量全自動特氣柜(BSGS)

氦檢報(bào)告
三色塔燈
防爆電控箱
高壓測漏功能
帶自清潔功能
工藝瓶自動供氣
4寸排風(fēng)口及閥門

可選配置

噴淋頭
帶加熱盤面
高溫探測報(bào)警
配置電子磅秤
配置 UV/IR,噴淋頭，高溫，煙感應(yīng)
前端0.1μ過濾器，后端0.001μ終端過濾器
為保證安全，所有閥門管件須使用美國Parker、Aptech、 Fujikin、TK、Unilok、SMAT、Mott、Hisptech等品牌

適應(yīng)氣體

燃爆性氣體：如氫氣（H2）, 一氧化氮（N2O）, 甲烷（CH4）,乙炔（C2H2)等
毒腐性氣體：如二氧化硫（SO2）、硫化氫（H2S）、一氧化碳（CO）、二氧化氮（NO2）、氯化氫（HCL）等

應(yīng)用行業(yè)

應(yīng)用在 MOCVD、PECVD、刻蝕機(jī)等配套設(shè)備上，適用于高校實(shí)驗(yàn)室、材料分析實(shí)驗(yàn)室、芯片半導(dǎo)體、光伏太陽能電池、生物醫(yī)藥工程、微電子新材料等行業(yè)。

應(yīng)用行業(yè)

光伏太陽能
半導(dǎo)體芯片
半導(dǎo)體芯片
高?？蒲袑?shí)驗(yàn)室
微電子新材料
材料分析實(shí)驗(yàn)室

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