全自動(dòng)分配箱(VMB)
VMB閥門分配箱，是一種內(nèi)嵌多支路，實(shí)現(xiàn)高純氣體或液體分流的閥門箱。VMB能讓高純?cè)蠌膯我粊?lái)源被分配到多點(diǎn)應(yīng)用。對(duì)于每個(gè)使用點(diǎn)，壓力可被單獨(dú)地調(diào)控，從而可同時(shí)滿足不同應(yīng)用的需求。它還可提供吹掃功能和真空抽氣功能，因此操作人員能夠在無(wú)危險(xiǎn)氣體泄漏的情況下安全地維。除此以外，設(shè)備運(yùn)行過(guò)程中能在不影響其它支路氣體供應(yīng)情況下，吹掃某一支路或?qū)ζ溥M(jìn)行真空抽氣。
