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吸附式Scrubber
  • 吸附式原理：吸附式scrubber是一種基于物理吸附和化學(xué)反應(yīng)的尾氣處理技術(shù)。其主要原理是通過(guò)吸附劑吸附尾氣中的污染物，然后通過(guò)化學(xué)反應(yīng)將其轉(zhuǎn)化為無(wú)害物質(zhì)，最終達(dá)到凈化尾氣的目的。
  • 吸附劑的選擇：吸附式scrubber中的吸附劑通常選擇具有高吸附能力和良好穩(wěn)定性的材料，如活性炭、分子篩等。吸附劑的選擇應(yīng)根據(jù)尾氣中的污染物種類和濃度來(lái)確定，以確保高效吸附和轉(zhuǎn)化效果。
  • 吸附過(guò)程：吸附式scrubber的吸附過(guò)程主要分為物理吸附和化學(xué)吸附兩個(gè)階段。物理吸附是指污染物在吸附劑表面的物理吸附作用，主要依靠吸附劑的孔隙結(jié)構(gòu)和表面化學(xué)性質(zhì)?；瘜W(xué)吸附則是指污染物與吸附劑之間的化學(xué)反應(yīng)，通過(guò)化學(xué)反應(yīng)將污染物轉(zhuǎn)化為無(wú)害物質(zhì)。
適用氣體

  • 吸附式local scrubber 尾氣處理設(shè)備可處理氣體種類包括半導(dǎo)體、液晶以及太陽(yáng)能等行業(yè)中蝕刻制程與化學(xué)氣相沉積制程中使用的特氣，主要包括SiH4、SiH2Cl2、PH3、B2H6、TEOS、H2、CO、NF3、SF6、C2F6、WF6、NH3、N2O等

應(yīng)用行業(yè)

  • 適合于半導(dǎo)體、新材料及高等院校、科研院所、航空航天和微電子等需要對(duì)燃爆毒腐氣體處理的企業(yè)或?qū)嶒?yàn)室

應(yīng)用行業(yè)
  • 光伏太陽(yáng)能
    光伏太陽(yáng)能
  • 半導(dǎo)體芯片
    光伏太陽(yáng)能
  • 生物醫(yī)藥工程
    生物醫(yī)藥工程
  • 高?？蒲袑?shí)驗(yàn)室
    高?？蒲袑?shí)驗(yàn)室
  • 微電子新材料
    微電子新材料
  • 材料分析實(shí)驗(yàn)室
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