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等離子廢氣處理柜（Scrubber）
  • 尺寸：DIMENSION 尺寸 約1000*900*2060(W*D*H)
  • 進(jìn)氣口：進(jìn)口1~4端口，入口模塊組件溫度監(jiān)測(cè)( 120℃ ↓)
  • 濕式洗滌：防腐項(xiàng)目（高樹脂涂層室）、Switch 方式的 流量供給監(jiān)測(cè)、濕式洗滌溫度監(jiān)測(cè)(35℃以下)
  • 濕式儲(chǔ)罐：高樹脂涂層室、容量充分的 循環(huán)水、抽水機(jī)
  • 等離子體室（反應(yīng)器）：自上而下流動(dòng)系統(tǒng)、室內(nèi)溫度傳感器、防腐項(xiàng)目（內(nèi)腔_ SUS310)
  • 通過加熱模塊，配備溫度高及溫度低報(bào)警功能，并配以充足空氣（空氣需用戶現(xiàn)場提供）助燃，含尾氣處理器稀釋助燃?xì)怏w用量，尾氣可處理容量≥1500升每分鐘，將可燃或可分解廢氣燃燒、氧化、分解，達(dá)到降害目的，本設(shè)備可處理可燃性/爆炸性氣體處理量≥220SLM,如如氫氣、乙炔、磷烷、一氧化碳、二氟甲烷、氟化甲基等,DIMENSION 尺寸 約1000*900*2060(W*D*H)
  • 水洗除了有冷卻、降溫的功能，還可以通過水溶解或水分解，將溶水氣體變成液態(tài)酸或堿性溶液對(duì)廢氣進(jìn)行處理，設(shè)備配置噴淋頭5個(gè)，方便后續(xù)工程的酸堿中和處理，本設(shè)備可處理溶水性性氣體處理量≥150SLM,如氨氣、氟氣、乙硼烷等
適用氣體

  • 燃爆毒腐性氣體:如 氟氣（F2）, 砷（AS）, 溫室氣體（GHG）等

應(yīng)用行業(yè)

  • 適合于半導(dǎo)體、新材料及高等院校、科研院所、航空航天和微電子等需要對(duì)燃爆毒腐氣體處理的企業(yè)或?qū)嶒?yàn)室

應(yīng)用行業(yè)
  • 光伏太陽能
    光伏太陽能
  • 半導(dǎo)體芯片
    半導(dǎo)體芯片
  • 生物醫(yī)藥工程
    生物醫(yī)藥工程
  • 高?？蒲袑?shí)驗(yàn)室
    高?？蒲袑?shí)驗(yàn)室
  • 微電子新材料
    微電子新材料
  • 材料分析實(shí)驗(yàn)室
    材料分析實(shí)驗(yàn)室

聯(lián)系電話

400-900-9093

微信： G4009009093

地址：深圳寶安松白路蓋斯帕克科技大廈

西南分公司： 四川省成都市高新區(qū)環(huán)球中心

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